지난해 국내 주요 반도체·디스플레이 장비 업체 40곳 매출과 영업이익이 모두 전년비 큰 폭으로 개선됐다. 코로나19 지속과 비대면 문화 확산에 따른 반도체 업황 개선, 그리고 중국 패널 업체의 투자 확대가 큰 영향을 미쳤다. 1일 금융감독원 전자공시시스템에 따르면 지난해 세메스와 에스에프에이 등 반도체·디스플레이 장비 업체 실적 합계는 매출 12조7289억원, 영업이익은 1조2238억원이다. 전년비 매출은 25.8%, 영업이익은 66.5% 급증했다. 사상 최대 실적을 올린 세메스의 매출은 2조2143억원이다. 전년비 95.3% 급증했다. 세메스의 앞선 매출 최대치는 지난 2017년의 2조329억원이었다. 세메스는 세정 장비부터 포토·식각공정 장비, 검사·패키징 등 후공정 장비도 공급한다. 국산화에 성공한 물류 자동화 설비 OHT(Over Head Transport)를 삼성전자 공장에 설치한 것도 지난해 실적에 기여했다. 원익IPS는 지난해 처음 '1조원 클럽'에 가입했다. 지난해 매출은 전년비 63.0% 뛴 1조909억원이다. 영업이익은 241.8% 급증한 1405억원이다. 원익IPS는 삼성전자와 SK하이닉스 등에 플라스마화학기상증착(PECVD) 장비, 원자층 증착(ALD) 장비 등 주로 메모리 반도체 장비를 공급한다. 지난해 파운드리 관련 매출액이 처음 1000억원을 넘어섰다. 에스에프에이(1조5511억원)와 탑엔지니어링(1조1861억원)은 매출이 전년비 각각 1.7%, 9.2% 감소했다. 탑엔지니어링은 영업손실 181억원을 기록하며 적자전환했다. 탑엔지니어링은 연결 자회사 파워로직스(카메라 모듈 업체)의 지난해 영업손실 261억원 타격이 컸다. 한미반도체는 매출이 전년비 113.9% 증가한 2573억원이다. 반도체 설비 투자가 ASE와 앰코 등 외주반도체패키지테스트(OSAT) 업체로 확대되면서 한미반도체 후공정 장비 매출에 긍정 영향을 미친 것으로 보인다. 매출 70%는 EMI 실드(전자파 간섭 차폐 기술) 장비와 비전 플레이스먼트 장비에서 나왔다. 이오테크닉스는 1z나노 D램 전환 본격화로 반도체 레이저 어닐링 장비 수요가 증가해 실적이 개선됐다. 흑자전환에 성공한 엘오티베큠은 반도체 공정에서 발생하는 부산물 제거에 사용하는 건식진공 펌프 공급 확대 덕을 봤다. 지난해 엘오티베큠은 삼성전자와 3차례에 걸쳐 총 277억원 규모의 건식 진공 펌프 공급을 체결했다. 흑자전환한 기업은 톱텍과 필옵틱스, 엘오티베큠, 참엔지니어링, 예스티, 넥스틴 등이다. 영업이익이 세 자릿수 성장한 업체는 세메스(813.5%)와 원익IPS(241.8%), 이오테크닉스(440.8%) 등 11곳이다. 적자전환 등 영업손실을 기록한 업체는 탑엔지니어링과 주성엔지니어링, 제이스텍, 파인텍, 케이맥, 베셀 등이다. 올해도 반도체 장비 분야는 삼성전자와 SK하이닉스 등의 투자 기대감으로 실적이 개선될 전망이다. 국제반도체장비재료협회(SEMI)는 올해 글로벌 반도체 산업의 팹 장비 투자액이 전년 보다 15.5% 성장한 700억달러(약 79조2000만원)를 넘어설 것으로 예상했다. 세메스는 올해 지난해보다 더 높은 매출 계획을 세운 것으로 알려졌다. 디스플레이 장비 업계 전망은 상대적으로 불투명하다. 삼성디스플레이와 LG디스플레이 등 국내 패널 업체는 대규모 신규 투자를 위해 고려할 변수가 많아진 데다, BOE 등 중국 패널 업체는 이미 설치한 생산라인 수율 확대가 올해 중점 과제가 될 전망이다.