글로벌 주요 반도체 장비 업체의 1분기 실적이 모두 두 자릿수 이상의 성장률을 기록한 것으로 21일 조사됐다. 반도체 슈퍼사이클(장기호황)이 시작되면서 시설투자가 늘어난 덕분으로 풀이된다. 어플라이드머티어리얼즈의 1분기(2~4월) 매출은 55억8200만달러(약 6조2937억원)로 전년 동기 보다 41% 증가했다. 순이익은 13억3000만달러였다. 지난해 같은 기간(7억5500만달러) 보다 76% 늘었다. 영업이익률은 47.5%를 기록했다. 게리 딕커슨 최고경영자(CEO)는 1분기 실적발표에서 "장기적으로 반도체 장비 실적 성장세가 지속될 전망"이라며 다음 분기(5~7월)에는 매출이 59억2000만달러로 성장할 것으로 내다봤다. 올해 공정 진단 및 제어 분야에서 전년 보다 약 50% 성장이 전망된다고 밝혔다. 고급 패키징 분야는 2019년보다 두 배 이상 성장할 것으로 전망했다. ASML의 1분기 매출은 43억유로(약 5조9263억원)로 전년 동기(24억유로) 보다 79% 성장했다. 영업이익은 13억유로로 225%나 증가했다. 영업이익률은 53.9%로 상위 5개 업체중에서 가장 높다. 첨단 반도체 공정에 필수적인 극자외선(EUV) 노광장비 공급 덕분이다. ASML은 지난 1분기 EUV 장비 7대를 판매했다. 올해는 총 40여대를 공급할 예정이다. 주요 고객사는 삼성전자, SK하이닉스, TSMC 등이다. 지난 1분기 ASML의 국가별 장비 출하 비중은 한국 44%, 대만 43% 순으로 차지했다. 램리서치는 1분기 매출 38억4800만달러를 기록하며 지난해 같은 기간 보다 53% 증가했다. 영업이익은 12억달러다. 1분기 매출에서 메모리 부분의 비중이 62%(낸드플래시 48%, D램 14%)를 차지했다. 회사 측은 "96~128단의 3D 낸드 투자 확대에 따라 낸드 장비 매출이 증가했다"고 밝혔다. 1분기 지역별 매출은 중국 32%, 한국 31%, 대만 14% 순으로 차지했다. 도쿄일렉트론(TEL)의 반도체 장비 매출은 4154억엔(약 4조3046억원)으로 지난해 동기(3089억엔) 보다 34.4% 증가했다. 회사 측은 실적 발표에서 "메모리 투자가 로직·파운드리 분야보다 눈에 띄게 성장했다"며 "3D 낸드 분야의 식각, 증착 장비 투자가 늘어나면서 올해 신규 장비의 실적 증가율이 지난해 더 높아질 전망"이라고 밝혔다. KLA텐코의 1분기 매출은 18억370만달러로 전년 같은 기간(14만2300만달러) 보다 12% 증가했다. KLA또한 반도체 장비 수요 증가로 다음 분기 매출이 전분기 보다 증가해 최대 19억달러를 기록할 것으로 내다봤다. 반도체 장비 업계는 앞으로 내후년까지 성장이 계속될 것으로 본다. 국제반도체장비재료협회(SEMI)는 올해 전세계 반도체 산업의 팹 장비 투자액이 전년 보다 15.5% 성장해 700억달러를 넘어설 것으로 예상했다. 2022년에는 12% 상승해 800억달러 이상을 기록할 것으로 전망했다.