EUV(노광) 장비 전문기업 이솔이 올해 2세대 EUV 장비 시제품을 내놓는다. 지난해 고객사에 공급을 시작한 EUV 마스크 리뷰 설비, EUV 펠리클 투과율 검사기 등 1세대 장비에 이어 2세대 장비 개발로 글로벌 장비회사로의 본격적인 도약에 나선다는 계획이다. 

김병국 이솔 대표는 9일 《디일렉》과 인터뷰에서 “지난해 약 350억원 규모 투자 유치에 성공했으며 대부분 연구개발(R&B) 비용으로 사용될 것”이라며 “지금까지 1세대 제품 4가지 종류를 선보였으며 보다 진화한 2세대 EUV 장비 프로토타입 제품이 올해 처음으로 나올 것”이라고 말했다. 

국내 반도체 펠리클 업체인 에프에스티(FST) 자회사인 이솔(ESOL)은 삼성전자 반도체 사업부 출신인 김병국 대표가 지난 2018년 설립했다. 이솔이라는 이름은 ‘EUV 솔루션’의 줄임말이다. EUV 공정에 필요한 다양한 솔루션과 장비를 개발하고 있다. 

김병국 대표는 “1세대 장비로는 EUV 마스크 리뷰 설비, EUV 펠리클 투과율 검사기, EUV 위상 반전 마스크 설비, 포토레지스트(PR) 개발을 위한 간섭 노광장비 등이 있다”며 “마스크 리뷰 설비와 펠리클 투과율 검사기는 이미 매출이 발생하고 있으며 나머지 2가지 제품도 올해 안에 매출이 발생할 것”이라고 말했다. 

현재 주력 제품인 펠리클 투과율 검사기는 전세계적으로 2~3개 기업이 경합을 벌이고 있으며 이솔은 고객사로부터 품질 경쟁력을 인정받고 있다. 이솔의 EUV 마스크 리뷰 설비인 ‘SREM 330’은 개발 및 고객사 세팅을 마친 후 매출이 발생하고 있다. 이솔 측은 SREM 보다 속도 등에서 세계 최고 수준인 EUV 측정장비(FREM)도 순조롭게 개발되고 있다고 설명했다. 아울러 EUV PR 소재 개발 및 양산에 도움을 줄 수 있는 간섭 노광장비 역시 개발해 고객사가 테스트 중이다. 

지금까지 개발한 4가지 장비에 대해 김병국 대표는 첫 번째 스테이지, 즉 1세대 장비로 규정했다. 김병국 대표는 “2세대 장비는 총 3가지 정도 구상하고 있으며 올해 첫 번째 2세대 장비 프로토타입이 나온다”며 “지금 나온 EUV 마스크 리뷰 설비는 마스크 한 부분만 정확히 보는 용도인데 마스크 전면을 볼 수 있는 장비를 개발하고 있다”고 말했다. 

각국 주요 기업이 EUV 관련 측정 및 검사장비를 개발하고 있지만 아직 대부분 기업이 생산한 설비는 연구용 수준에 머물러 있다. 반면 이솔은 시스템 정확도부터 시작해 안정성, 자동화는 물론 실제 생산 현장에서 쓸 수 있는 양산성 등을 모두 확보했다고 판단한다. 

김병국 대표는 향후 이솔의 청사진에 대해서도 언급했다. 통상 반도체 장비 기업들의 기업공개(IPO)는 설립부터 약 10년 정도 소요된다. 김병국 대표는 2019년 설립한 이솔은 IPO까지 10년이 걸리지 않을 것으로 본다. 

김병국 대표는 “현재 이솔은 창업 1기에서 2기로 넘어가는 시기다. EUV 시장이 급격히 성장할 때 대응이 가능한 체력을 만드는제 중점을 두고 있다”며 “2세대 제품을 넘어 글로벌 톱 장비 업체들만 만들 수 있는 3세대 제품을 생산할 시점이 되면 자연스럽게 IPO를 진행할 수 있을 것”이라고 말했다. 

디일렉=강승태 기자 [email protected]
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