국내 반도체·디스플레이·배터리 장비 시장의 강자 원익그룹이 반도체 스크러버 시장까지 진출한다. 스크러버 사업은 가스 장비 사업을 주력하는 원익홀딩스가 맡는다. 최근 퀄테스트를 위해 삼성전자에 일부 장비를 납품하기도 했다. 원익그룹의 스크러버 시장 참전으로, 스크러버 시장의 격변이 예상된다. 2일 업계에 따르면 원익홀딩스가 반도체용 스크러버 장비를 삼성전자에 공급하고, 여러 공정에서 퀄테스트를 진행 중이다. 8인치 파운드리 기업 D사와도 퀄테스트를 진행하고 있다. 원익홀딩스는 플라즈마 등 고부가 스크러버 장비 위주로 사업을 준비 중인 것으로 알려졌다. 스크러버는 반도체·디스플레이 공정에서 배출되는 유해 가스를 정화하는데 필요한 장비다. 최근 반도체 산업에서 ESG의 중요성이 강조되면서 고사양 스크러버 장비의 필요성은 더욱 증가하고 있다. 스크러버는 습식, 연소식, 히터, 플라즈마 방식으로 구분된다. 기존 반도체 산업 현장에서 가장 많이 사용되던 장비는 연소식 스크러버다. 연소식 스크러버는 LNG(천연가스)와 공기를 주입한 뒤 온도를 올려, 유해가스를 제거하는 방식이다. 다만, 탄소 배출이 불가피해, 플라즈마 스크러버 등으로 대체되고 있는 추세다. 플라즈마 스크러버는 아크 방전을 통해 생성한 플라즈마를 통해 유해가스를 처리한다. 연소식에 비해 탄소 배출이 적어 차세대 스크러버로 주목받고 있다. 스크러버 업계 관계자는 "원익홀딩스가 스크러버 사업을 본격적으로 시작하는 것으로 알고 있다"고 전했다. 원익홀딩스가 타깃으로 하는 시장은 플라즈마 스크러버다. 이를 위해 관련 특허를 다수 출원했고, 스크러버 관련 경력 인원도 채용 중이다. 업계에서는 스크러버 신사업이 원익홀딩스의 기존 사업인 가스 공급 시스템, 가스 모너티링 시스템과 시너지를 낼 수 있을 것으로 보고 있다. 업계 관계자는 "스크러버 사업 진출을 통해 원익홀딩스는 종합가스설비 기업으로 거듭날 수 있을 것"이라고 평했다. 원익홀딩스가 스크러버 시장에 진출하면서 스크러버 시장 경쟁은 더욱 치열해질 것으로 전망된다. 삼성과 원익그룹의 끈끈한 관계를 고려할 때, 빠른 시일 내에 시장 점유율을 높일 가능성도 크다는 게 업계 관측이다. 이 경우 기존 공급업체인 유니셈, GST, 지앤비에스엔지니어링, 씨에스케이, 에드워드코리아 등이 영향을 받게 될 전망이다.  한편, 원익홀딩스 관계자는 "해당 사안에 대해서는 답변하기 힘들다"고 말했다.

디일렉=노태민 기자 [email protected]
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