<인터뷰 원문>
- 진행 디일렉 이도윤 편집국장
- 출연 디일렉 한주엽 대표
-이번에도 반도체 쪽 특히 소재 쪽을 한번 다루도록 하겠습니다. 오랜만에 모셨습니다. 한주엽 대표님 모셨습니다. 안녕하세요.
“안녕하십니까. 오랜만에 나왔습니까? 지난주에 안 나왔군요.”
-요즘에 아주 기사를 많이 쓰고 보기 좋습니다.
“고맙습니다.”
-이게 한 3일 된 기사예요. 켐트로닉스 관련 기사를 한번 쓰셨어요.
“이것은 한번 다뤄볼 필요가 있을 것 같다. 왜냐하면 그전에 공시 났을 때 이미 회사에서 주요 언론사들을 대상으로 피칭을 했어요.”
-맞아요.
“이게 우리 언론계에서 '피칭'한다는 거는 기사를 준다는 의미로 얘기할 수 있죠.”
-특정 언론사를 찝어서.
“몇 개 찝어서 줬더라고요. 그래서 저도 보다가 이래저래 보니까 굉장히 의미가 있는 내용이어서 조금 다뤄봤습니다. 조금 더 자세하게 다뤘는데. PGMEA라는 게 있어요. PGMEA(프로필렌 글리콜 메틸 에테르 아세테이트)라고 PGMEA라고 얘기합니다. PGMEA라고 그냥 아시면 되고 솔벤트예요. 용제(溶劑). 이게 내가 이 솔벤트도 무슨 말인지 잘 알아듣기 어렵고 용제(溶劑)도 한문이라서.”
-신너 같은 거 아니에요?
“섞어서 쓴다는 얘기예요. 우리가 소맥을 먹으면 소주를 조금 따르고 맥주를 많이 따라서 하잖아요. 그러면 용제가 맥주가 되는 거고 잭콕 아십니까?”
-잭콕이 뭐예요?
“잭다니엘과 콜라를 섞은 거기서 콜라가 용제가 될 수 있다.”
-많이 들어가는 게 용제다?
“많이 들어간다? 그렇죠. 그래서 이게 용제에 대한 어떤 사전적 정의는 다른 물질을 뭔가 용해(析出)하기 위해 쓰는 액체나 가스류 물질인데 용해가 어떤 물질이 다른 물질에 녹아서 그거로 섞이는 현상이다. 그러니까 잭다니엘이 콜라 속에 섞여서 골고루 섞이면 콜라 먹는 맛인데. 알코올이 들어간다고 약간 잭콕 맛있는데 안 드셨나 보군요.”
-저는 섞어 먹는 건 싫어해서요.
“잭콕 말고 소맥 생각하시면 됩니다. 그래서 이게 솔벤트인데 PGMEA가 굉장히 많이 쓰여요. 페인트에도 많이 쓰이고요. 특히 일반적으로 우리가 많이 쓰는 화학 제품은 페인트에 많이 섞이고 용제로. 그리고 반도체급 전자재료는 순도가 높아야 되기 때문에 좀 더 비싼 가격에 포토레지스트(PR)나 아까 나중에 뒤에 얘기하겠지만 BARC라고 반사방지막 혹은 스핀온하드마스크(SOH) 물질이라고 하드마스크 하는 재료들이 있거든요. 이런 것들 그리고 신너(Thinner). PR 같은 거를 닦아낼 때 쓰는 것. 노광할 때 빛에 반응하지 않은 부분들을 닦아낼 때 신너가 쓰이는데 신너 안에도 PGMEA가 쓰입니다. 근데 중요한 거는 켐트로닉스가 이 PGMEA를 계속적으로 개발을 했었어요. 반도체급.”
-원래 켐트로닉스는 PGMEA를 많이 했던 회사인가요?
“아니요. 이런 반도체급 PGMEA라기보다는 일반 케미컬류를 많이 케미컬 사업부. 원래 케미컬로 시작한 지금 켐트로닉스가 카메라 무선충전 여러 가지를 하는, 전자칠판도 하고 여러 가지 하는데 원래는 화학회사로 먼저 시작한 회사라서 케미컬류를 되게 많이 했고 PGMEA 쪽은 원래 다우(DOW)라든지 이런 회사들이 잘 했습니다. 일본에도 또 있고 또 대만에도 또 있는데 고순도 PGMEA 같은 경우는 우리가 개발을 하겠다라고 해서 이번에 99.999%(5N). 9가 5개. 9가 5개를 한다라는 건데. 이게 지금 사실 초고순도라고 99.999%(5N) 하는 거는 이렇게 하다 보면은 만들어진대요. 시간 쓰고 하다 보면 만들어지는데 중요한 거는 베타(β) 이성질체(異性質體, Isomer)라는 게 있습니다.”
-그게 뭐죠?
“이성질체(異性質體, Isomer)라고 하는데 탄소 기반의 유기물을 합성하고 이러다 보면 같은 분자식이나 같은 원소 기호를 갖고 있는데도 약간 배치가 달라져가지고 전혀 다른 종류의 성질을 나타내는 화학물질이 생기는 경우들이 있다고 그래요.”
-독성 물질 같은 걸 얘기하는 건가요?
“어떨 때는 크게 문제가 없는데 어떤 거는 독성이 있을 수 있다. 그래서 알파(α) 이성질체, 베타(β) 이성질체. 알파(α)가 대부분이고 원래 써야 되는 물질이고. 베타(β)가 생기는 게 한 100ppm, 200ppm 이렇게 나왔나 봐요. 근데 그게 Isomer가 이성질체라고 합니다. 이게 참 어려운 얘기인데. 베타(β) 이성질체가 PGMEA 속에 포함돼 있는, 알파(α) 아닌 조금 함유돼 있는 베타(β) 이성질체가 사람 몸에 안 좋대요. 그러니까 사람 몸에 안 좋다는 게 미국이나 이런 쪽에서 이게 쓰지 못하게 만드는, 그렇다고 PGMEA를 못 쓰게 만드는 건 아니고 이게 베타(β) 이성질체가 뭔가 불임이나 기형아 출산을 유발할 수 있다는 연구가 있어서 삼성전자 내에서도 2급 유해물질로 취급하고 있는 물질이에요. 그러니까 1급, 2급, 3급이 있는데. 3급은 그냥 하는 거고 1급 유해물질은 무조건 쓰면 안 되는 것. 납 같은 건 당연히 안 쓰는 거지만, 그리고 2급이 대체제가 있다면 바꿔야 될 물질인데. 얘는 쓸 수는 있지만 대체제가 있으면 바꾼다라는 물질이거든요. 그래서 켐트로닉스가 이번에 개발한 것이 베타(β) 이성질체의 함유량을 1~2ppm 정도라고 하니까.”
-아예 안 나올 정도는 아니지만 확 줄인 거네요.
“사실상 '프리'라고 불러도 무방할 정도의 이건데. 결국은 PGMEA 이거 되게 또 어려운 얘기인데 PGMEA를 받아오려면 'A'를 빼고 아세테이트를 뺀 PGME라고 하는 게 PGME를 또 어디서 받아와야 되고 거기에 아세테이트를 또 섞어서 합성하면 PGMEA가 되는 건데 이 PGMEA 안에서 베타(β) 이성질체를 걸러내면 조금 어려우니까 PGME부터 끓이고 끓이고 해서 증류해서 계속 이렇게 하는 거거든요. 그러니까 시간이 많이 걸리죠. 구체적인 거는 저도 잘 모르겠습니다. 하여튼 계속 증류하고 첨가제 넣고 이렇게 해서 줄인다고는 하는데 이거를 반복해서 되었다. 그래서 삼성이 이거에 대해서 우리가 베타(β) 이성질체가 없는 거를 쓰기 위해서 PCN을 하고 있더라. PCN이 프로세스를 바꾸기 위해서 내부적으로 하는 활동들이거든요. 쉽게 얘기하면 품질 평가라고 얘기해도 되고 그러니까 이게 통과가 되면 일단은 아까 솔벤트로 쓰이는 신너(Thinner) 같은 데도 쓰인다고 그랬잖아요. 기사에는 EUV 뭐 이렇게 막 나왔던데 그걸로 바로 가기는 힘들고 최대한 영향이 적은 조그마한 그러니까 최소화 영향이 작은 부분부터 신너부터 일단 바꿀려고 그래요. 그래서 동우화인켐 같은 데서 신너 공급하니까 퀄 통과되면 캠트로닉스의 PGMEA는 동우화인켐으로 공급돼서 신너로 들어간다. 그리고 그게 다 괜찮아지면.”
-다른 쪽으로도.
“종국에는 포토레지스트(PR)에도 갈 수도 있고 반사방지막(BARC). 닛산케미칼에 하는 반사방지막 쪽으로도 갈 수도 있고”
-아까 얘기한 반사방지막(BARC:Bottom Anti-reflection Coating).
“반사방지막(BARC)이 노광할 때 빛을 쏘는데 밑에 웨이퍼에서 반사돼서 위로 올라가 버리면 또 감광액이 빛에 반응하지 말아야 될 부분도 반응을 하고 패턴이 뭉개질 수 있기 때문에 밑에 노광하기 전에 바르는 물질이 있거든요. 반사되지 말라고. 거기에도 들어갈 수 있고 또 SOH(스핀-온-하드마스크)라고 하드마스크인데. 이건 또 설명하려면 어려운데 아무튼 SOH라는 물질도 패터닝 할 때 필요한 하드마스크 물질인데 이거 삼성SDI가 공급하거든요. 이런 쪽으로도 갈 수 있고 앞으로 무궁무진해질 수 있다인데. 제가 취재를 해보니까 이 베타(β) 이성질체를 함유량을 1~2ppm 수준으로 낮췄다는 것은 대단하죠. 대단한데. 원가 수준은 당연히 올라갈 수밖에 없죠.”
-당연히 그렇겠죠.
“근데 원가를 맞출 수 있느냐.”
-지금 그러니까 기존에 다우(DOW)나 이런 데서 하는 가격은 대충 얼마 정도 되는 거예요?
“kg당 한 2달러 정도 하는 것 같아요.”
-kg당 2달러 정도 하는데.
“kg당 2달러 정도 하는데. 이거 시간 들인 거나 이런 거 생각해 보면 8~10달러 정도는 받아야 그래도 이익을 남길 수 있을 텐데.”
-4~5배.
“지금 얘기되는 가격이 한 5~6달러 정도 된 것 같아요. 그러면 초기에는 약간 손해 보고 팔 수밖에 없는 거 아니냐라는 얘기도 있고 그리고 8~10달러를 만약에 엔드 고객사에서 “그렇게 줘 내가 사줄게”라고 얘기하면 다우(DOW)라든지 이런 데서 안 할 이유 없죠. 걔네도 많이 끓이고 기술이 원래 있는 회사니까.”
-다우(DOW)나 이런 데는 마음 먹으면 만들 수 있는 기술이에요?
“가격이 안 맞아서 안 만드는 거라고 봐야 하지 않을까라는 게 저의 생각이고. 그럼에도 불구하고 우리가 혁신이라고 얘기하는 것은 비싸게 만드는 걸 싸게 만든 게 혁신 아닙니까. 근데 켐트로닉스가 그런 혁신까지 했는지는 모르겠지만, 이거 사실은 솔벤트 사업이 양떼기 장사거든요. 그건 물이잖아요. 그러니까 물이라기보다는 하여튼 양이 많이 들어가는 거잖아요.포토레지스트(PR) 안에 솔벤트 비중이 양으로 치면 한 70~80% 되거든요. 근데 아까 얘기했다시피 가격이 kg당 2달러 이렇게 얘기하는데. 그 안에 PEG니 레진이니 고분자니 여러 가지 들어간단 말이에요. PEG 같은 거는 제가 정확하게 기억이 안 나지만 kg당 몇십만 원 해요. 2000원짜리하고 몇 십만 원짜리하고 양이 작지만, 그래도 가격이 싸지만 PGMEA는 어쨌든 양떼기 장사라서 들어가기 시작하면 아주 볼륨 측면에서는 괜찮은 게 될 수 있죠. 근데 이게 지금 지금 현재 1만톤인데 2만5000톤으로 확대하기 위해서 170억원 투자한다고 공시하면서 그렇게 언론사에 피칭을 한 거였는데. 2만5000톤인데. kg당 5달러 정도면 매출 계산해보면 한 500억원 정도 나오는 거 아닙니까?”
-얼마 안 되네요.
“500억원인데. 아까 얘기한 대로 가격을 그 정도 가격을 쳐주면 확 올라가겠지만 우리가 그래서 매출 나오는 걸 봐야 될 것 같습니다. 그래서 봐야 되고 켐트로닉스도 켐트로닉스지만 비상장사 중에 재원산업이라는 회사가 있습니다. 사실은 이 회사가 더 일찍 한 걸로.”
-저희가 한번 다뤘었어요. 재원산업도. 예전에 한번 대표님 나오셔가지고.
“그래서 재원산업도 동일한 99.999(5N) 초고순도의 한 1~2ppm 수준의 낮은 베타(β) 이성질체의 함유량을 가진 '프리' 제품을 이미 개발했고.”
-거기도 개발을 했어요?
“개발했대요. 개발했고. 이쪽 얘기는 이미 우리는 물론 순도는 조금 낮을 수 있지만 이미 우리는 2만4000톤~2만5000톤 정도 수준의 PGMEA 생산 라인을 갖고 있거든요. 전환해 나가면 된다라고 지금 얘기를 하니까. 아마 켐트로닉스하고는 굉장히 치열하게 시장에서 경쟁을 할 것으로 예상이 됩니다.”
-그러면 켐트로닉스는 일단은 테스트가 진행 중인 거는 삼성전자고?
“둘 다 삼성 쪽이에요.”
-재원산업도? 그럼 다른 업체 그러니까 SK하이닉스는 이거를 다른 데서 받나 보죠?
“그건 다음에 저희가 한번 다룰 텐데. 이엔에프테크놀로지 모회사인 퓨릿 이런 얘기도 있고요. 그건 제가 더 취재를 해봐야 됩니다. 근데 이게 중요한 거는 아까 2급 대체제가 있다면 바꿔야 될 물질로 정의된다고 했잖아요. PGMEA 안에 포함된 베타(β) 이성질체가. 저는 사실은 이 얘기 듣고 이게 잘못 퍼지면 “그렇게 독성 물질을 아직도 쓰고 있는 거야?” 뭐 이렇게 또 얘기가.”
-삼성을 안 좋게 보는 쪽에서는 그렇게 볼 수 있죠.
“그렇게 나가는데. 우리가 먹는 물을 끓여도 100도씨 되면 손이 닿으면 데이거든요. 근데 이것도 얼마나 위험한 물질을 잘 안전하게 다루느냐가 핵심이지. 그걸 쓴다고 해서 뭐라고 할 수 있는 건 아닌데. 근데 제가 봤을 때는 한 2달러짜리를 한 10달러 정도 주면 바꿀 수 있는 건데. 가격에 대한 부분들이 있으니까 그동안 서로 주저주저 했던 건데. 이번에 국내 업체가 이걸 국산화해서 낮은 가격으로 낮추면, 사실은 낮추려면 낮출 수 있거든요. 그러니까 규모의 경제가 됐든 또 하다 보면 또 숙련도가 생겨서 더 잘 만드는 것도 할 수 있고 하여튼 우리가 혁신이라는 거는 가격을 낮추는 혁신에서 일반적인 혁신들이 많이 일어나기 때문에 국내 업체가 국산화하기 시작하면 예를 들어서 삼성이 베타(β) 이성질체 '프리' 제품을 우리는 포토레지스트(PR)도 쓴다 반사방지막(BARC)도 쓴다. SOH도 쓴다 신너도 쓴다. 이렇게 마케팅 하지는 않겠지만, 만약에 그게 얘기가 나오면 SK하이닉스도 당연히 쓸 수밖에 없는 상황이 올 테고. 마이크론도 마찬가지고 TSMC나 인텔 다 마찬가지일 거예요. 그래서 이게 그래서 저는 의미가 있는 것으로 보고 있습니다.”
-삼성이 이런 문제로 홍역을 한번 치뤘잖아요.
“반올림 얘기를.”
-또 어디서 불거질 수 있으니까 쉬쉬하는 걸 수도 있어요.
“그럴 수 있죠. 근데 반올림 건은 제가 생각할 때는 어쩔 수 없이 지금 마지막에는 오너가 교도소에 있을 때 자꾸 밖에서도 그런 얘기까지 나오니까. 집권여당에서. 사과를 안 할 수가 없었는데 삼성이 사과는 했지만 그때 당시에 사과했던 건 이런 것들이었거든요. 우리가 인정해서 사과하는 게 아니다. 도의적 차원에서 사과하는 것이다. 그냥 사과하면 이때까지 그 공장에서 일어났던 모든 것들에 대해서 다 너네가 인정하는 걸로 비춰질 수 있는데. 항상 도의적 사과라고 했는데 그게 교도소에 있을 때는 사과하고 그냥 됐으니까 지금 거의 다 인정한 꼴이 돼버렸기 때문에 이런 얘기 또 잘못 나오면 민감해할 수 있죠. 근데 아무튼 위험한 물질을 쓴다는 것과 위험한 물질을 쓰면서 잘 다루는 것은 다른 문제인 것 같습니다. 그래서 켐트로닉스가 이거 2만4000톤, 2만5000톤 만들어서 적정하게 잘 공급해서 원가 맞추고 이렇게 하면 굉장히 좋을 것 같아요. 이런 바람이 일어날 것 같아요. 변화의 바람이.”
-친환경 추세니까 또 잘 됐으면 좋겠네요.
“근데 뭐 인간이 살아가는 것 자체가 친환경적이지 않은 활동들의 연속이기 때문에. 최소화하는 노력들은 뭐 있으면 좋죠.”
-잠시 쉬었다 오겠습니다.
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