세메스는 한국생산기술연구원(KITECH)과 반도체 제조혁신을 위한 상생협력 업무협약(MOU)을 체결했다고 9일 밝혔다. 협약 목표는 두 기관 기술교류를 통한 개발과제 사업화다. 세메스의 반도체 공정 데이터를 기반으로 △공동연구 △정보교류 △인력교류 등에서 협력한다.  세메스 관계자는 "개발이 시급한 단기개발 품목과 중장기개발 품목으로 구분해 운영할 방침"이라며 "인공지능(AI) 제조기술을 첨단 반도체 장비의 고장 예측, 부품 교체주기, 구동시스템 등에 적용하겠다"고 설명했다.  정태경 세메스 대표는 "첨단 반도체 공정에 AI 응용기술을 접목해 설비 신뢰성과 생산성 향상 등 제조혁신을 이루겠다"고 밝혔다. 

디일렉=이기종 기자 [email protected]
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