이동훈 삼성디스플레이 대표(사장, 오른쪽에서 셋째)가 지난 10일 충남 아산2캠퍼스에서 태블릿PC를 이용해 양해각서(MOU)에 전자서명 하고 있다.
삼성디스플레이는 차세대 디스플레이 투자를 발표한 지난 10일 소재·부품·장비 협력업체 20곳과 '공동 기술 개발' 양해각서(MOU)를 체결했다. 충남 아산2캠퍼스를 방문한 문재인 대통령, 이재용 삼성전자 부회장이 참석한 행사 가운데 하나였다.
13일 디일렉 취재결과 장비업체 9개사와 부품업체 5개사와 소재업체 6개사가 삼성디스플레이와 '소재·부품·장비 공동 기술개발 협약'을 맺었다.
공동 기술개발 협약을 맺은 장비업체는 △아이씨디 △힘스 △원익IPS △예스티 △HB테크놀러지 △제이스텍 △필옵틱스 △이오테크닉스 △엘오티베큠이 있다.
아이씨디는 증착장비용 물류챔버 제작 업체다. 일본 캐논토키에서 만든 증착챔버에 아이씨디의 물류챔버를 붙여 증착시스템이 구성된다. 2021년 가동예정인 삼성디스플레이의 QD디스플레이 Q1라인의 8.5세대(2200x2500㎜) 대형 증착장비는 캐논토키가 공급하기로 했다.
그동안 중소형 마스크 인장기를 공급해왔던 힘스가 Q1라인의 대형 증착시스템에서도 오픈마스크 인장·검사 장비를 공급할 것으로 보인다. 삼성디스플레이는 중소형 유기발광디스플레이(OLED) 생산라인의 파인메탈마스크(FMM) 마스크 인장기를 전량 힘스로부터 공급받았다. 증착장비는 캐논토키가 독점했다.
원익IPS의 디스플레이 핵심 장비는 건식 식각 ICP(Inductively Coupled Plasma)장비다. ICP장비는 Q1라인에서 생산될 대형 디스플레이의 옥사이드(Oxide) 박막트랜지스터(TFT) 형성에 필수인 장비다. 장비 공급을 두고 아이씨디와 경쟁하고 있다. 원익IPS는 열처리 장비 라인업도 갖추고 있다. 옥사이드 TFT 형성에는 열처리 장비 역시 따로 필요하다. 열처리장비 분야에서는 예스티와 경쟁관계다.
예스티는 합착공정후 기포를 빼내는 오토클레이브 장비를 삼성디스플레이의 중소형 OLED 생산라인과 액정디스플레이(LCD) 생산라인에 공급한 바 있다. 패널 크기에 관계없이 필요한 장비다. HB테크놀러지는 삼성디스플레이 생산라인 TFT 공정 검사장비 대부분을 공급했다.
제이스텍은 삼성디스플레이가 만드는 TV용 대형 패널용 본딩 공정 장비를 전량 공급하고 있는 업체다. 본딩(bonding)은 디스플레이 패널과 인쇄회로기판(PCB)을 도전필름(ACF)으로 연결하는 공정이다. 필옵틱스와 이오테크닉스는 모두 레이저 장비업체다. 커팅 등 레이저를 활용한 다양한 공정에 적용되는 장비를 만든다. 엘오티베큠은 디스플레이 생산 공정중 진공 상태를 유지하는 펌프 장비를 만드는 업체다.
부품업체 5곳은 △그린광학 △비에이치 △이녹스첨단소재 △아나패스 △넥스플러스다. MOU 체결 행사에서 '상생협력' 사례로 소개된 그린광학은 사파이어 소재 레이저 튜브 렌즈를 만드는 업체다. 레이저어닐링(ELA) 공정용 엑시머 레이저 장비에 들어가는 소모품이다. ELA 공정은 중소형 OLED의 TFT인 폴리실리콘(LTPS) 형성에 필수이지만 옥사이드 TFT를 만드는데는 포함되지 않는다. 비에이치는 삼성디스플레이의 중소형 OLED 모듈용 연성회로기판(FPCB) 주요 공급업체다.
이녹스첨단소재는 삼성디스플레이가 플렉시블 OLED 패널을 만들때 사용하는 점착보호필름인 백플레이트 필름(Back Plate Film)을 국산했다. 그전까지는 일본업체가 해당 필름을 독점공급했었다. 대형 OLED에서는 LG디스플레이에 인캡용 필름을 공급하고 있다.
반도체 팹리스(fabless) 업체 아나패스는 삼성디스플레이에서 만드는 OLED와 LCD 패널에 타이밍컨트롤러(T-Con, 티콘)를 공급해왔다. 티콘은 디스플레이구동칩(DDI)에 신호를 전달해 화면을 제어하는 역할을 한다. 패널 당 1개씩 들어간다. 넥스플러스는 스마트폰·TV 등 세트용 부품 제조업체다. TV 외형 부품업체 인지디스플레이가 올해 상반기 기준 넥스플러스의 지분 29.5%을 가진 관계사다.
소재업체는 △동진쎄미켐 △엘티씨 △원익머트리얼즈 △덕산네오룩스 △SFC 5개 업체다. 동진쎄미켐과 엘티씨는 TFT 공정용 액상 화학물 공급업체다. 식각액, 현상액, 박리액, 신너 등이 TFT 공정에 사용된다. 원익머트리얼즈의 소재 역시 TFT 공정에 쓰이지만 액상이 아닌 가스를 공급한다. 가스 소재는 주로 증착에 사용된다.
덕산네오룩스와 SFC는 OLED 유기물 소재업체다. 레드와 프라임층에서 두각을 나타내는 덕산네오룩스는 삼성디스플레이가 개발한 정공수송층(HTL)의 외주생산을 오랫동안 해오고 있다. SFC는 블루 소재에 강점을 가진 업체다. 삼성디스플레이의 Q1라인에서 생산될 QD디스플레이의 발광원은 블루 유기물(OLED)다. 공통층인 HTL은 사용되지만 중소형 OLED에 들어가는 레드와 그린은 쓰이지 않는다.
