주성엔지니어링이 회사의 핵심 기술인 ALD(원자층증착) 기반의 차세대 반도체·디스플레이·태양광 증착장비를 개발한다. 

황철주 주성엔지니어링 회장은 13일 서울 여의도에서 열린 창립30주년 기업설명회에서 "ALD 기반의 트랜지스터 증착장비, 무기발광디스플레이 증착장비, 발전효율 35% 이상의 태양광 제조장비 등 차세대 기술의 개발 완료시점이 임박했다"고 밝혔다.

주성엔지니어링은 지난 1993년 설립된 반도체·디스플레이·태양광 장비업체다. 주력 사업인 반도체 부문에서는 웨이퍼 상에 박막을 입히는 증착장비를 전문으로 개발해왔다.

특히 지난 2002년에는 세계 최초로 ALD 장비를 개발해 주요 고객사의 D램 양산공정에 적용한 바 있다. ALD는 ALD는 원자 수준인 1옹스트롬(0.1나노미터) 두께로 박막을 다층 증착할 수 있는 기술이다. 기존 증착 기술인 CVD(화학기상증착) 대비 미세화 공정을 구현하는 데 용이하다.

황철주 주성엔지니어링 회장은 "차세대 반도체, 디스플레이, 태양광에도 모두 ALD 기술이 유망하게 적용될 수 있어, 관련 개발을 상당부분 진행한 상황"이라고 강조했다.

반도체 분야에서는 이미 뚜렷한 성과가 나타나고 있다. 지난 2020년 개발한 신규 ALD 장비인 '가이던스'로 국내외 반도체 기업에 공급하는 계획을 추진하고 있다. 

황철주 회장은 "GAA, 3D D램 등 차세대 반도체 기술이 점차 보급화되면서 트랜지스터 기술 역시 발전하고 있다”며 “주성은 커패시터용 ALD 장비를 세계 최초로 개발했고, 이를 기반으로 트랜지스터를 제조하는 ALD 기술 개발을 조속히 다 끝내놓고 있다”고 설명했다.

ALD 기반의 차세대 디스플레이용 장비 개발도 상당 부분 완료됐다. 현재 OLED는 유기물을 증착하고 있으나, 디스플레이 업계에서 무기물을 증착하는 무기발광디스플레이(ILED) 개발이 활발히 이뤄지고 있다. ILED는 OLED 대비 밝기와 수명 등이 더 뛰어나다. 주성엔지니어링은 이 무기물을 ALD 방식으로 증착하는 기술 개발을 거의 완료한 상태다.

태양광 부문은 ALD 공정을 통해 페로브스카이트와 헤테로정션을 결합하는 기술을 개발하고 있다. 해당 기술이 완성되면 태양광 발전효율을 35% 이상으로 구현할 수 있다는 게 황철주 회장의 설명이다. 현재 태양광의 발전효율 수준은 12% 내외로 알려져 있다.

황철주 회장은 "태양광 발전효율을 35% 이상 달성하면 전기자동차 등 미래 산업에서 큰 변혁과 새로운 시장이 일어날 것"이라며 "주성엔지니어링은 유일하게 해당 기술과 장비를 개발하는 유일한 업체로, 현재 기술 개발이 거의 다 진행됐다"고 말했다.

디일렉=장경윤 기자 [email protected]
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