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지난 28일 경기도 용인에 위치한 램리서치 코리아테크놀로지센터(KTC)에 들어서자 증착, 식각, 계측 장비들이 내는 소음들이 가득했다. KTC는 고객사의 제품 개발과 테스트를 지원하기 위한 램리서치의 연구개발(R&D) 시설로 취재진이 방문한 이날, 고객사의 웨이퍼 데모가 진행되고 있었다. 

KTC는 지난해 4월 개관한 3만제곱미터 규모 R&D 센터다. 증착, 식각, 계측 등 웨이퍼 데모를 지원해 제품 개발을 돕기 위해 설립됐다. 램리서치 관계자는 "KTC는 고객사의 생산 연속성을 고려해 설계됐다"며 "서브팹까지 고객사의 팹 환경과 유사하게 만들었다"고 말했다.

KTC에는 램리서치의 최신 식각 플랫폼인 센스아이(Sense.i)부터 키요(Kiyo), 스트라이커(Striker) 등 다양한 장비가 구비돼 있었다. 센스아이는 인공지능(AI) 솔루션이 적용된 제품으로 공정 과정에서 수집한 데이터를 분석해 공정 개선 및 유지 보수가 가능한 장비다. 또, 직선화 형태로 장비를 설계해 구조 효율을 70% 이상 개선했다. 키요와 스트라이커는 각각 램리서치의 대표적인 식각, 증착 장비다. 센스아이나 2300e5 등 플랫폼에 장착하는 형태로 구동된다.

KTC에서는 다양한 회사의 계측 장비도 만나볼 수 있었다. 고객사의 디펙(결함) 정밀 분석을 위해서다. KTC에는 램리서치 계측장비뿐 아니라 KLA 스펙트라 필름, 브루커(Bruker) 시리우스 RF, 리가쿠(Rigaku) 구비돼 있다.

KTC 내부에는 인가된 엔지니어가 아니면 출입할 수 없는 공간도 있었다. 경쟁사에 데이터 유출을 방지하길 원하는 고객을 위해 마련됐다. 이런 공간은 삼성전자, SK하이닉스 등 고객이 사용 중이다. 

정성락 램리서치코리아 부사장은 "KTC 설립 전에는 미국 본사에 웨이퍼 데모를 맡겨야 했었다"라며 "미국에서 데모를 진행하던 시절에는 아무리 빨라도 3주 정도 시간이 소요됐는데, KTC 설립 후에는 웨이퍼 데모가 하루면 가능하다"고 강조했다. 

이날 오후에는 경기도 화성에 위치한 램리서치 한국 로컬 트레이닝 센터(KLTC)를 방문했다. KLTC는 지난 2018년 3월 기술 교육 현지화를 위해 설립됐으며, 램리서치 엔지니어와 주요 고객사 대상으로 교육 프로그램이 진행되고 있다. 최근에는 대학(원)생 대상 장비 교육도 지원하고 있다. 

KLTC 교육은 가상현실(VR) 시스템을 통해 이뤄진다. VR 장비를 착용한 뒤 램리서치 주요 장비 유지 보수를 경험해 보는 방식이다. 국내 트레이닝 센터 설립을 통해 장비 교육을 위한 비용과 시간도 크게 줄었다. 신규 장비 도입 시, 미국이나 오스트리아에 위차한 글로벌 트레이닝 센터(GTC) 방문이 필수적이었다. 현재 램리서치는 미국 2개, 오스트리아 1개 GTC를 운영 중이며, LTC의 경우 한국, 대만, 중국, 일본에서 운영 중이다. 

램리서치는 "제조 공장을 포함해 고객 지원센터, 트레이닝 센터, R&D 센터, 물류 센터 등을 K-반도체 벨트 내에서 운영하는 최초의 글로벌 반도체 장비 업체"라며 "한국 반도체 시장 경쟁력 강화를 위해 많은 투자를 진행하고 있다"고 전했다.

마지막으로 이상원 램리서치 한국법인 대표는 "계속적인 투자로 한국반도체 생태계 활성화에 노력할 것"이라며 "또, 용인 캠퍼스 이전을 계기로 한국 반도체 업계의 파트너들과의 협력을 통해 최선을 다하겠다"고 말했다. 램리서치는 현재 용인 캠퍼스 내 사무동을 건설 중이다. 내년 7월 완공 예정이며, 완공 후 본사와 KLTC가 이전할 계획이다.

디일렉=노태민 기자 [email protected]
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