EUV 등 선단 공정에서 발생하는 미세 정전기 제거
올 3~4월 기술 테스트 이어 6월 고객사 양산라인 테스트
넥스틴의 극자외선(EUV)용 신규 장비 ‘레스큐(ResQ)’가 올 하반기 고객사 양산라인에 본격적으로 적용될 전망이다. 지난 1분기 장비 테스트를 마친 데 이어 이달 중 주요 고객사 양산라인에서 테스트를 진행할 예정이다. 이 테스트 성과가 좋게 나오면, 해당 장비는 올 하반기부터 고객사에 공급될 것으로 보인다.
7일 반도체 업계에 따르면 넥스틴은 국내 주요 고객사와 EUV용 신규 장비 ‘레스큐‘의 양산라인 테스트를 이달 중 진행할 예정이다.
레스큐는 EUV 공정용 미세 정전기 제거 장비다. 기존 반도체 공정에서는 웨이퍼 위에 정전기가 발생해도 큰 문제가 발생하지 않았다. 하지만 EUV 등 선단 공정에서는 미세 정전기가 웨이퍼 패턴 불량 등을 발생시켜, 반도체 수율 하락에 영향을 끼치는 문제를 초래한다. 특히 박막 공정과 세정 공정에서 미세 정전기가 많이 발생한다.
레스큐는 이같은 EUV 등 첨단공정에서 발생하는 정전기를 제거할 수 있는 장비다. 넥스틴은 지난해 4월 정전기 제거 기술업체 자이시스를 인수해 미세 정전기 제거 장비 레스큐를 개발했다.
고객사의 평가도 긍정적이다. 지난 3~4월에는 고객사 웨이퍼를 넥스틴 연구소에 가져와 성능 테스트를 진행했고, 유의미한 결과를 거둔 것으로 알려졌다. 이에 따라 이달부터는 고객사 양산라인에서 장비 성능 테스르를 진행한다. 성능평가에서 유의미한 결과가 나오면, 올 연말에는 고객사의 본격적인 레스큐 장비 도입이 시작될 것으로 보인다.
넥스틴 관계자는 ”레스큐 장비를 통해 웨이퍼 미세 정전기 제거에 유의미한 성과를 거뒀다“며 ”양산 라인에서도 우수한 성적을 거두면 본격적인 장비 도입이 예상된다“고 설명했다.
넥스틴에 따르면 팹 1곳당, 20~30개 정도의 레스큐 장비 도입이 예상된다. 따라서 본격 공급이 시작되면 앞으로 넥스틴의 매출 성장에도 상당 부분 기여할 수 있을 전망이다. 넥스틴 관계자는 “레스큐 장비가 추후 전체 (넥스틴) 전체 매출의 30% 수준까지 확대될 것으로 예상하고 있다”고 밝혔다.
레스큐 장비는 추후, TEL, 어플라이드 등 다른 장비사 메인 장비에 탑재되는 모듈 형태로도 공급될 것으로 추정된다. 반도체 클린룸 공간 활용도를 높이기 위한 고객사의 요청 때문이다. 만약, 모듈화 공급이 시작되면 추가 고객사 확보도 가능할 전망이다.
한편, 넥스틴은 반도체 업황 악화에도 지난 1분기 전년동기 대비 실적이 늘었다. 1분기 매출과 영업이익은 각각 전년동기 대비 17.5%, 31.1% 증가한 185억원, 84억원을 기록했다. 중국 고객사 확대 등의 매출처 다변화 영향이 큰 것으로 추정된다. 증권업계에서는 고객사 확대 및 신규 장비 등의 영향으로 올해 실적도 전년대비 성장할 것으로 전망하고 있다.
디일렉=노태민 기자 [email protected]
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