미국의 중국 수출규제 수혜기업으로 꼽히는 넥스틴이 중국 시장 공략 속도를 높인다. 3세대 웨이퍼 검사 장비 이지스3(AEGIS-3)를 지난 3분기 중국 고객사에 첫 공급한 것으로 파악됐다. 이지스3는 전작인 이지스2 대비 검사 속도가 30% 빨라진 제품이다. 22일 넥스틴에 따르면 지난 3분기 중국 고객사에 70억원 규모 이지스3를 공급했다. 이지스3 장비 가격은 600만달러 수준으로 1대를 납품한 것으로 추정된다. 이지스는 웨이퍼 검사 장비의 일종으로 웨이퍼의 디펙을 검출하는데 사용된다. 웨이퍼 검사 장비는 빛을 조사하는 방식에 따라 브라이트 필드와 다크 필드로 나뉜다. 브라이트 필드는 극자외선(EUV) 광원과 반사광을 이용해 결함을 검출한다. 15nm 수준의 결함까지 검출이 가능한 것으로 알려졌다. 다크 필드는 자외선(EUV) 광원과 산란광을 사용해 결함을 확인하는 방식이다. 산란광을 사용하기 때문에 브라이트 필드 대비 검출 가능한 결함(30nm)의 크기가 크다. 이지스 장비는 브라이트 필드와 다크 필드를 모두 지원한다. 이지스3는 이전 제품인 이지스2 대비 검사 속도가 30% 빨라진 제품이다. 이를 위해 컴퓨팅 파워도 1.47 TFLOPS 수준으로 올렸다. 제품 마진도 이전 세대(원가율 30%) 대비 증가했다. 이지스3 원가율은 23% 수준이다. 박태훈 넥스틴 대표는 "중국 파운드리, 메모리 기업에 3세대 장비가 출하될 것"이라며 "2세대 제품을 주문했던 고객들 중에서 3세대 장비로 업그레이드를 요청할 고객도 있을 것으로 예상한다"고 말했다. 이외에도 넥스틴은 '레스큐(ResQ)', '아이리스(IRIS)' 신규 공급을 준비 중이다. 레스큐는 EUV 공정용 미세 정전기 제거 장비다. EUV 등 선단 공정에서 발생시키는 미세 정전기를 제거해, 웨이퍼 패턴 불량을 방지하는 데 사용된다. 아이리스는 3D 웨이퍼 검사 장비로 낸드 라인에서 적용될 것으로 기대되는 장비다. 다만, 두 장비는 당초 올해 연말께 공급될 예정이었으나, 고객사의 환경 인증, 투자 축소 영향으로 장비 공급이 내년으로 지연됐다. 한편, 넥스틴은 올 3분기 매출 144억원, 영업이익 53억원을 기록했다. 전년동기대비 각각 66.0%, 77.6% 감소한 수치다. 박 대표는 "고객사의 투자 축소로 영향으로 일부 장비 납품 일자가 내년으로 조정됐다"고 설명했다.

디일렉=노태민 기자 [email protected]
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